高纯氮气简介

高纯氮一般以空气分离装置生产的氮气作为原料，通过化学法、吸附干燥法、变压吸附法及膜分离法等净化制成。高纯氮气是一种无色、无臭、无味、***的惰性气体。沸点- 195. 79℃；熔点- 210. 01℃；相对密度（气体）(0℃，101. 325kPa)1. 25046g- L-1。常温下呈惰性，微溶于水、酒精和醚。氮的化学性质不活泼，在平常的状态下表现为很大的惰性，不容易与其他的物质发生化学反应。氮不可燃。它可与一些特别活泼的金属，例如锂和镁结合生成氮化物，在高温下也可与氢、氧和其他元素结合。微溶于水和绝大部分其他液体，是热和电的不良导体。

高纯氮气的用途

高纯氮气一般在集成电路、半导体和电真空器仵制造中用作化学气相沉积时的载气，液体扩散源的携带气，高温扩散炉中器件的保护气等。显像管制造中要求氮气纯度为99. ***以上；而在集成电路制造中用作底气的氮气纯度为99. 9***～99. 99***，甚至更高。在某些金属材料生产中，需用高纯氮气。

高纯度制氮机系统的组成、工作原理及设备概述

1、高纯度制氮机系统组成及工作原理

??高纯度制氮机系统是由一个以空气为原料，由空压机、空气缓冲罐、冷冻式干燥机、精密过滤器、变压吸附制氮机、氮气缓冲罐等设备组成的氮气制造系统。

??空气压缩机是制氮系统所需压缩空气的来源。由空气压缩机输出的压缩空气先由冷冻式干燥机进行除油、除水处理，然后经空气缓冲罐缓冲后，由变压吸附制氮机制取纯度≥98%的氮气。

2、高纯度  制氮机主要设备概述

（1）、压缩空气系统

??空气压缩机提供变压吸附制氮机组所需的压缩空气。工艺要求该系统提供稳定的输出压力和足够的气量。本系统选用运转可靠，维护简单，低噪音，无基础运转的喷油螺杆式空压机。

（2

）、冷冻式干燥机

??为了达到氧、氮分离的目的，用于气体分离工艺的空气须经压缩和净化。从空气压缩机出来的压缩空气经粗过滤器过滤后，进入冷冻式干燥机，去除压缩空气中的水、油，使压缩空气达到含油<0.01ppm，颗粒<0.01um，常压露点<-20℃。

高纯度制氮机的节能优势

  杭州乐成气体设备有限公司专为一些氮气用量不衡定，同时规格较大的PSA制氮设备，研制了一种EES节能系统，可根据氮气用量的变化实时调整空气耗量，***氮气纯度不变。这样从控制上进一步节约能耗，达到所需即所得的功效，并已经在一些用户使用过程中发挥了其节能效果。

  LCN-B节能型高纯度制氮机系统工作原理如下：

  变压吸附高纯度制氮机是以压缩空气为原料，通过变压吸附的原理制取氮气，系统的能耗主要是压缩机的电耗，也就是说在一定的氮气流量和纯度条件下，为***制氮机所需的一定量的压缩空气，所配套的压缩机功率一般是按的氮气流量和的氮气纯度选型。当用户氮气用量低于制氮机的额定产气量时，EES节能系统能够根据用户不同的氮气用量调整制氮机的工艺流程，从而调节压缩空气的耗量，起到能耗调节作用，克服了常规控制系统造成的压缩空气过多的消耗。

当制氮机的产出氮气流量低于额定流量时，通过氮气流量计输出的电信号，传送给控制制氮机工作流程的PLC(可编程控制器)，PLC根据不同的氮气流量调整制氮机的吸附工作周期，使制氮机在满足用户对氮气纯度要求的前提下，以最适合此时流量需求的吸附工作周期运行，以达到制氮机的工作效率，使得制氮机消耗最小的压缩空气量。让您降低更多的电费。